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电子特气-芯片血液、半导体第二大材料


电子特气基本情况
电子特种气体（SpecialGas）是一类在电子产品制造过程中不可或缺的高纯度气体，是特种气体的一个重要分支，它们在半导体、液晶面板、太阳能电池等电子组件的生产中发挥着关键作用，广泛应用于气相沉积、离子注入、光刻、刻蚀、掺杂、扩散等工艺过程，对电子产品的性能和可靠性有着决定性的影响。电子特种气体产品高纯度的稳定性和高精度的一致性与电子产品的性能密切相关，被称为“芯片血液”。
电子特气可以按制造工艺的不同区分，也可以按气体所含化学成分分为含氟气体、含硅气体、含硼气体、含锗气体、氢化物气体等。其中含氟特气用量比较大。

电子特气产业链及主要企业
电子特种气体的上游主要包括原材料供应商和设备制造商。原材料主要为空气分离气体、石化煤化生产的原料气或废气、基础化学原料等，而设备则包括气体分离设备、气体纯化设备、压力容器等。下游应用领域广泛，包括集成电路、显示面板、LED与光伏等泛半导体行业。其中集成电路是电子特气应用比较大的领域，在光刻、刻蚀、离子注入等每个环节都有应用，是硅晶片制造的第二大材料。
如前所说，因电子特种气体产品纯度要求高，生产过程中关键质量控制点多且难度大，故原材料、设备、工艺等偏差均会形成误差累积传递。因此，从事电子特种气体的企业不仅需要掌握自身的产品制备技术、产品检验技术以及洁净灌装、包装物及瓶阀处理技术等底层共有核心技术，还需要围绕底层共有核心技术并结合产品特点进一步研发形成了各产品专有核心技术。开发一个气体品种，往往需要关键核心技术的突破，以及在产业化应用中对工艺参数不断进行化。很多气体的关键杂质含量上只标明“需与用户协商”，核心技术保密。电子特种气体产品品种繁多，半导体中使用的有100多种，常用的也有四十种，但单一产品用量较小，下游客户更希望气体供应商能够销售多类别产品，而通常每种电子特种气体产品均需建设专用生产线以及专用充装容器等配套设备。综上，行业具有较高的技术、资金、人才等门槛。
德国林德、美国空气化工、法国液化空气以及日本大阳日酸占据全球市场的9成以上。德国林德是工业气体、工艺与特种气体的全球领先供应商，在大陆拥有80多个子分，运营100多个工厂。美国空气化工为炼油，石化，金属，电子，食品饮料等制造业提供大气和工艺气体及相关设备，是全球比较大的氢气供应商。法国液化空气，目前在40多个城市设有近100家工厂，主要经营范围包括工业及医用气体的运营。大阳日酸，菱化学的子，日本比较大的工业气体和空分设备制造。
目前电子特气的国产化率低于40%，就种类而言国产化率不超过20%，大部分还要依赖进口。中船特气，国内电子特气产业头，产品品类有70余种，预计未来能达到100种左右，国内首个进入5纳米制程的特气供应商。华特气体，电子特气行业的领军企业之一，现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖，并进入全球半导体企业供应链体系。南大光电，诞生于“863”计划，成长于“02-专项”，国内先进电子材料核心供应商，在砷烷、磷烷、氢类方面表现突出。科利德，国内仅有自研产品能涵盖清洗、刻蚀、掺杂、沉积、离子注入等关键制造工艺环节的电子特种气体本土企业。另外还有雅克科技、金宏气体、凯美特气、绿菱气体等。

电子特气几个观点
科技的进步带来电子特气的需求不断扩大，特别是在先进制程技术、显示和光伏产业的推动下，电子特气的市场规模持续增长。
论是市场还是品类，电子特气国产替代还有很大的市场。
电子特气行业有技术壁垒，且客户认证周期长、资金门槛高、人才需求量大、全产品线供应及配套服务所需能力高等特点，进入不易。
国外厂商凭借全产品线供应，以及客户渠道等势占据市场主要份额，国内厂商一般采用单点突破，再谋划多品种布局的发展途径。

在电子特气领域深耕近20年，资源势明显，在服务及品类齐全上占绝对势。



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